变量越多,就越难将它们综合起来,换成是他们,要是来搞这个模型的话,恐怕都足够他们组织个好多个人,然后向上申请个百万经费,好好研究个一年半载。
就这样,他们经过了好几天的讨论,再加上和林晓那边的沟通,终于理清了这个模型。
而后,便是用这个模型优化他们的离子束抛光系统。
系统优化是一个比较长的过程,他们还需要不断检验程序的正确性,确定BUG。
所以这又需要很长时间,当然,这些时间,相比较看不到成功的时间,完全不是问题。
……
镜片抛光技术搞定了,接下来的林晓,便开始了对双工作台的研究。
双工作台是能够增加光刻机生产效率的部件,一个工作台对硅晶圆进行扫描,一个工作台进行光刻。
华国在双工作台技术上已经实现了一次重要的突破,利用磁悬浮微动技术,实现了运动精度优于2nm的精密程度,提高了双工作台的分辨率,被认为是世界上除了阿斯麦尔第二个掌握了光刻机双工作台技术的国家。